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Implementación de un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas semiconductoras de bajas temperaturas

dc.contributor.author Llontop López-Dávalos, Paul David es_PE
dc.date.accessioned 2024-05-30T23:13:38Z
dc.date.available 2024-05-30T23:13:38Z
dc.date.issued 2017
dc.description.abstract Un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas a bajas temperaturas fue implementado empleando un sistema criogénico de ciclo cerrado de helio, un sistema de control de temperatura y un sistema de medición de resistividad. A fin de verificar el sistema implementado, seis contactos de aluminio fueron depositados a lo largo de cada diagonal sobre una muestra cuadrada de silicio tipo p de bajo dopaje para medir su resistividad a diferentes temperaturas a partir de 66K. La magnitud del error de medición en función de la distancia de los contactos respecto a las esquinas de la muestra fue determinada por dos métodos. La discusión de la dependencia de la resistividad con la temperatura fue realizada con los resultados de menor error.
dc.description.sponsorship Fondo Nacional de Desarrollo Científico y Tecnológico - Fondecyt
dc.identifier.uri https://hdl.handle.net/20.500.12390/1843
dc.language.iso spa
dc.publisher Pontificia Universidad Católica del Perú
dc.rights info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/pe/
dc.subject Semiconductores
dc.subject Películas delgadas es_PE
dc.subject.ocde https://purl.org/pe-repo/ocde/ford#1.03.00
dc.title Implementación de un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas semiconductoras de bajas temperaturas
dc.type info:eu-repo/semantics/masterThesis
dspace.entity.type Publication
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thesis.degree.discipline Física
thesis.degree.grantor Pontificia Universidad Católica del Perú. Escuela de Posgrado
thesis.degree.name Magíster en Física
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