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http://hdl.handle.net/20.500.12390/1843


Título: Implementación de un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas semiconductoras de bajas temperaturas
Autor(es): Llontop López-Dávalos, Paul David 
Asesor(es): Weingärtner, Roland
Resumen: Un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas a bajas temperaturas fue implementado empleando un sistema criogénico de ciclo cerrado de helio, un sistema de control de temperatura y un sistema de medición de resistividad. A fin de verificar el sistema implementado, seis contactos de aluminio fueron depositados a lo largo de cada diagonal sobre una muestra cuadrada de silicio tipo p de bajo dopaje para medir su resistividad a diferentes temperaturas a partir de 66K. La magnitud del error de medición en función de la distancia de los contactos respecto a las esquinas de la muestra fue determinada por dos métodos. La discusión de la dependencia de la resistividad con la temperatura fue realizada con los resultados de menor error.
Tema: Semiconductores;Películas delgadas
Editorial: Pontificia Universidad Católica del Perú
Fecha de publicación: 2017
Financiamiento: CONV-000026-2015-FONDECYT-DE 
Tipo de publicación: info:eu-repo/semantics/masterThesis
Identificador Handle: http://hdl.handle.net/20.500.12390/1843
Recurso relacionado: http://hdl.handle.net/20.500.12404/8685
Nivel de acceso: info:eu-repo/semantics/openAccess
Colección:2.2 Estudios de licenciatura y maestría

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marcado en 04-oct-2022

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